技術(shù)編號(hào)：8040871
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及一種直拉單晶爐晶棒托架，屬于單晶硅的生產(chǎn)制造設(shè)備領(lǐng)域。 背景技術(shù)單晶硅作為一種半導(dǎo)體材料，一般用于制造集成電路和其他電子元件，目前單晶硅的生長(zhǎng)技術(shù)有兩種區(qū)熔法和直拉法，其中直拉法是目前普遍采用的方法。在直拉法制造單晶硅時(shí)，多晶硅在石英坩堝內(nèi)加熱熔化，然后對(duì)熔融的硅略微降溫，給予一定的過冷度， 把一支具有特定晶向的硅單晶體(稱作籽晶)與熔融的硅接觸，通過調(diào)整熔融硅的溫度和籽晶的向上提升速度，使籽晶體長(zhǎng)大至目標(biāo)直徑，然后提高提升速度，使單晶體近恒直徑生長(zhǎng)，在生長(zhǎng)過程尾期，此時(shí)通過增加晶體的提升速度...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。