技術編號：8033281
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本發(fā)明涉及使用以噴墨法為代表的點滴滴注方法制造半導體器件的方法，尤其涉及形成構成半導體器件的絕緣膜的技術。(2)背景技術近年來，使用薄膜晶體管的半導體器件已經(jīng)廣泛應用于諸如電視機之類的大尺寸液晶顯示器件以及諸如手機之類的便攜式終端，同時也進行了積極地開發(fā)。點滴滴注法具有各種優(yōu)點，諸如不需要掩膜、基板的尺寸容易增加、材料的高使用率、有可能減少設備投資量以及使制造設備的尺寸最小。因此，點滴滴注方法可應用于彩色濾色膜或等離子體顯示器的引線、電極等的制造。在制造半導體器件的傳統(tǒng)方法中，要使用很復雜的步驟來形成電路等...
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