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狹口閥的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8026744

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明主要涉及用于處理襯底的工藝腔室,更尤其涉及用于保護(hù)狹口閥密 封構(gòu)件不由于工藝腔室中的條件而退化。背景技術(shù)用于在襯底上的制造集成電路(ic)的處理系統(tǒng)主要包括用于執(zhí)行在襯底 的各種工藝以形成構(gòu)成IC的各種特征和結(jié)構(gòu)的工藝腔室。工藝腔室主要包括狹口閥,用于在處理期間選擇性地密封腔室,同時(shí)促進(jìn) 襯底進(jìn)出工藝腔室。狹口閥主要包括具有通常稱之為狹口闊開(kāi)口的狹長(zhǎng)開(kāi)口的 外殼,用于提供到腔室的物理入口。例如,狹口閥開(kāi)口可用于在工藝腔室和耦接到工藝腔室的傳送腔室之間傳送襯底。狹n閥進(jìn)一步包括門和當(dāng)門處于關(guān)閉 位置時(shí)提...
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