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銦鎵氮單晶薄膜金屬有機物氣相外延生長技術(shù)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8018985

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種金屬有機物氣相外延(MOCVD)制備高熒光效率的銦鎵氮(InGaN)單晶薄膜的生長技術(shù),并直接和含InGaN的光發(fā)射二極管(LED)和激光器(LD)等光電器件的制備技術(shù)有關(guān)。InGaN 三元半導(dǎo)體材料具有從1.95eV(InN)~3.4eV(GaN)的直接帶隙,其發(fā)光波長覆蓋了整個可見光區(qū)。它被用作氮化物籃光和綠光的高亮度發(fā)光二極管(LEDs)和激光器(LDs)的有源區(qū),有著廣泛的應(yīng)用前景。InGaN材料的生長開始于1972年,當時,K.Osemuro等人[見文獻K.Osamura,K.Nak...
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