技術(shù)編號：8006876
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種氣相晶體生長壓力自動控制系統(tǒng)，屬于晶體材料 領(lǐng)域。背景技術(shù)壓力控制在材料制備中是比較常見的。例如采用MOCVD生長GaN 時，由于使用氣體的流量較大， 一般采用碟閥或球閥，壓力控制是通 過調(diào)節(jié)碟閥或球閥的開啟度實現(xiàn)的。還有一種方法是通過壓力傳感器 的反饋信號自動控制變頻器工作，變頻器直接控制真空泵的工作，從 而實現(xiàn)對壓力的動態(tài)自動控制。氣相法是晶體生長的一種常見方法，例如SiC是重要的第三代半 導(dǎo)體材料，具有寬帶隙、高熱導(dǎo)率、高擊穿場強、高飽和電子漂移速 度、高工作溫度、高鍵合能以及極好的物理...
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