技術(shù)編號：7957730
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及聲電轉(zhuǎn)換器領(lǐng)域，具體涉及一種硅微麥克風(fēng)。 背景技術(shù)終端消費(fèi)類電子產(chǎn)品的發(fā)展，使得越來越多的聲電換能器件得到廣泛的應(yīng)用。在聲電轉(zhuǎn)換技術(shù)領(lǐng)域中，硅微麥克風(fēng)，即MEMS麥克風(fēng)(Micro-Electro-Mechanical Systems-Microphone)，是一種采用硅為原材料，將電子和微機(jī)械集成為一體微細(xì)加工技術(shù)集成的MEMS聲電轉(zhuǎn)換芯片的聲電轉(zhuǎn)換器件。較傳統(tǒng)的電容式微型麥克風(fēng)，MEMS麥克風(fēng)以其尺寸小，高性能，可耐高溫回流焊，和大規(guī)模制造低廉的成本優(yōu)勢，已逐漸滲透到消費(fèi)類電子產(chǎn)品領(lǐng)域。傳統(tǒng)結(jié)...
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