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硅麥克風(fēng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7836985

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技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及電聲轉(zhuǎn)換器技術(shù)領(lǐng)域,更為具體地,涉及一種具有防光噪效果的硅麥克風(fēng)。背景技術(shù)隨著社會(huì)的進(jìn)步和技術(shù)的發(fā)展,近年來(lái),手機(jī)、筆記本電腦等便攜電子產(chǎn)品體積不斷減小,與之配套的電子零件的體積也不斷減小、而人們對(duì)這些便攜電子產(chǎn)品的性能要求卻越來(lái)越高。在這種背景下,作為上述便攜電子產(chǎn)品的重要零件之一的麥克風(fēng)產(chǎn)品領(lǐng)域也推出了很多的新型產(chǎn)品,其中以利用半導(dǎo)體制造加工技術(shù)而批量實(shí)現(xiàn)的硅麥克風(fēng)為代表產(chǎn)PΡΠ O對(duì)于這種硅麥克風(fēng)產(chǎn)品的工作原理,在美國(guó)專利US6781231中已經(jīng)有比較詳盡的介紹。附圖3即為一種常規(guī)的硅麥...
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