技術(shù)編號：7810507
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種MEMS麥克風(fēng)，包括基底；貫穿所述基底的聲腔；設(shè)置在所述基底正面，位于所述聲腔四周的第一絕緣層；設(shè)置在所述第一絕緣層表面，且覆蓋與所述聲腔相對的區(qū)域的設(shè)定形狀的振膜；設(shè)置在所述正面表面與所述第一絕緣層相對區(qū)域的第二絕緣層；設(shè)置在所述第二絕緣層表面，且覆蓋所述振膜與所述聲腔相對區(qū)域的背極，所述背極形狀與所述振膜形狀相匹配；其中，所述振膜的振動區(qū)域包括加強(qiáng)筋區(qū)域以及包圍所述加強(qiáng)筋區(qū)域的紋膜區(qū)域；所述加強(qiáng)筋區(qū)域設(shè)置有與所述振動區(qū)域徑向平行的加強(qiáng)筋...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。