技術(shù)編號(hào)：7797256
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開(kāi)了一種半導(dǎo)體工廠設(shè)備的分布式管理系統(tǒng)，包括設(shè)備服務(wù)端，數(shù)據(jù)中心服務(wù)器以及遠(yuǎn)程終端。其中，設(shè)備服務(wù)端與半導(dǎo)體工廠內(nèi)的各設(shè)備進(jìn)行數(shù)據(jù)交互；數(shù)據(jù)中心服務(wù)器與設(shè)備服務(wù)端和遠(yuǎn)程終端相連，并進(jìn)行數(shù)據(jù)交互；遠(yuǎn)程終端通過(guò)所述數(shù)據(jù)中心服務(wù)器獲取各設(shè)備的數(shù)據(jù)以及對(duì)各設(shè)備進(jìn)行數(shù)據(jù)管理。本發(fā)明能夠輔助使用者對(duì)半導(dǎo)體工廠設(shè)備進(jìn)行遠(yuǎn)程托管。專利說(shuō)明半導(dǎo)體工廠設(shè)備的分布式管理系統(tǒng)[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備通信，特別涉及一種半導(dǎo)體工廠設(shè)備分布式管理系統(tǒng)。背景技術(shù)[0002...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。