半導體工廠設備的分布式管理系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種半導體工廠設備的分布式管理系統(tǒng)，包括設備服務端，數據中心服務器以及遠程終端。其中，設備服務端與半導體工廠內的各設備進行數據交互；數據中心服務器與設備服務端和遠程終端相連，并進行數據交互；遠程終端通過所述數據中心服務器獲取各設備的數據以及對各設備進行數據管理。本發(fā)明能夠輔助使用者對半導體工廠設備進行遠程托管。
【專利說明】半導體工廠設備的分布式管理系統(tǒng)
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及半導體設備通信【技術領域】，特別涉及一種半導體工廠設備分布式管理系統(tǒng)。
【背景技術】
[0002]半導體工廠內設置的半導體設備數量眾多，并且這些半導體設備在工廠里的分布也比較松散，如果工廠中未配置足夠多的程師去現場管理每一臺設備，可能無法及時獲取和管理每一臺設備的工作狀態(tài)，所以，有必要提供一種分布式管理系統(tǒng)來輔助半導體工廠中的工程師來管理更多的同類設備。

【發(fā)明內容】

[0003]本發(fā)明的主要目的旨在提供一種對半導體工廠中的設備進行托管以進行工藝文件的編輯和管理、查看設備信息等的分布式管理系統(tǒng)。
[0004]為達成上述目的，本發(fā)明提供一種半導體工廠設備分布式管理系統(tǒng)，其包括設備服務端，數據中心服務器以及遠程終端，其中，所述設備服務端與所述半導體工廠內的各設備進行數據交互；所述數據中心服務器與所述設備服務端和所述遠程終端相連，并進行數據交互；所述遠程終端通過所述數據中心服務器獲取所述各設備的設備數據以及對所述各設備進行設備數據管理。
[0005]優(yōu)選地，所述數據中心服務器接收所述設備服務端傳輸的所述半導體工廠內各設備的設備數據，并對該設備數據進行存儲。
[0006]優(yōu)選地，所述遠程終端提供一顯示界面，用于接收輸入信號以及顯示其接收的所述設備數據。
[0007]優(yōu)選地，所述遠程終端根據該輸入信號向所述數據中心服務器發(fā)出設備數據獲取請求，當所述數據中心服務器存儲其請求的所述設備數據時，傳輸該設備數據至所述遠程終端，當所述數據中心服務器未存儲其請求的所述設備數據時，從所述設備服務端獲取該設備數據后存儲并傳輸至所述遠程終端。
[0008]優(yōu)選地，所述輸入信號為數據查詢指令。
[0009]優(yōu)選地，所述輸入信號為數據分析指令，所述遠程終端接收請求獲取的所述設備數據后對該設備數據進行分析處理并通過所述顯示界面顯示分析處理結果。
[0010]優(yōu)選地，所述設備數據包括工藝數據，所述遠程終端通過操作界面接收一工藝數據的編輯信息，并將該編輯信息傳輸至所述數據中心服務器，由其輸出至所述設備服務端以對所述各設備進行工藝數據的編輯。
[0011]優(yōu)選地，所述數據中心服務器存儲該工藝數據的編輯信息。
[0012]優(yōu)選地，所述設備數據包括工藝數據，所述遠程終端通過操作界面接收一工藝數據的刪除指令，并將該刪除指令傳輸至所述數據中心服務器，由其輸出至所述設備服務端以對所述各設備進行工藝數據的刪除。[0013]優(yōu)選地，所述數據中心服務器保留所述刪除指令所針對的工藝數據。
[0014]優(yōu)選地，所述數據中心服務器對其所存儲的設備數據制作備份數據。
[0015]優(yōu)選地，所述數據中心服務器的設備數據丟失時，通過該備份數據還原。
[0016]本發(fā)明所提出的半導體工廠設備分布式管理系統(tǒng)，通過數據中心服務器與設備服務端以及遠程終端之間的數據交互，能夠輔助使用者對設備進行遠程托管，如可實現半導體工廠中各設備工藝文件的遠程管理，設備數據信息的保存和恢復，以及設備數據信息的遠程查詢和分析等功能。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1為本發(fā)明半導體工廠設備的分布式管理系統(tǒng)的方塊圖；
[0018]圖2為本發(fā)明一實施例分布式管理系統(tǒng)進行數據查詢的流程圖；
[0019]圖3為本發(fā)明一實施例分布式管理系統(tǒng)進行數據分析的流程圖；
[0020]圖4為本發(fā)明一實施例分布式管理系統(tǒng)進行工藝數據編輯的流程圖；
[0021]圖5為本發(fā)明一實施例分布式管理系統(tǒng)進行工藝數據刪除的流程圖。
【具體實施方式】
[0022]為使本發(fā)明的內容更加清楚易懂，以下結合說明書附圖，對本發(fā)明的內容作進一步說明。當然本發(fā)明并不局限于該具體實施例，本領域內的技術人員所熟知的一般替換也涵蓋在本發(fā)明的保護范圍內。`
[0023]圖1為本發(fā)明半導體工廠設備分布式管理系統(tǒng)的方塊圖，以下將結合圖1對本發(fā)明進行詳細的說明。
[0024]半導體工廠設備分布式管理系統(tǒng)包括設備服務端10，數據中心服務器20以及遠程終端30。其中，設備服務端10與半導體工廠內的多個設備(設備1，設備2，設備3，設備4……)進行數據交互。其中，設備服務端10和數據中心服務器20之間，數據中心服務器20和遠程終端之間采用以太網連接以實現相互通訊。交互的數據可包括設備數據和指令數據，設備數據包括設備信息如日志，報警歷史，作業(yè)歷史等等；以及工藝數據如工藝氣體的流量，工藝菜單的參數等等。指令數據用于對各個設備進行控制，如對設備數據的刪除，查詢，分析的請求等，均屬于指令數據。相較于現有技術中設備服務端與遠程終端直接進行數據交互，本發(fā)明增加了數據中心服務器，該數據中心服務器除了在設備服務端10和遠程終端30之間進行數據交互之外，還可將來自設備服務端和遠程終端的設備數據進行存儲，備份和恢復，從而可保證交互的設備數據的完整性以及避免因誤操作導致設備數據的丟失。
[0025]以下將詳細說明本發(fā)明半導體工廠設備的分布式管理系統(tǒng)的各個功能的實現。
[0026]第一實施例數據查詢
[0027]圖2為本實施例的分布式管理系統(tǒng)進行設備數據查詢的流程圖。請參考圖2，該方法包括:
[0028]步驟201，通過遠程終端接收數據查詢指令。其中遠程終端提供一可接收輸入信號的操作界面，本實施例中，輸入信號為數據查詢指令。具體的，如遠程終端的操作界面上顯示“數據查詢”按鈕由使用者點選該按鈕以及輸入要查詢的設備數據，或操作界面顯示“數據查詢”按鈕以及設備數據種類由使用者選擇，從而發(fā)出數據查詢指令，遠程終端通過操作界面接收該指令。
[0029]步驟202，遠程終端根據該數據查詢指令發(fā)出設備數據的獲取請求。其中，設備數據包括設備信息和工藝數據。
[0030]步驟203，判斷數據中心服務器中是否存儲所請求的設備數據，如前所述，數據中心服務器20可接收來自設備服務端的有關半導體工廠內各個設備的設備數據，并對其進行存儲。若數據中心服務器20存儲了所請求的設備數據，則進行步驟205 ;否則，進行步驟204。
[0031]步驟204，數據中心服務器從設備服務端接收請求的設備數據，并存儲，然后進行步驟205。由于數據中心服務器在發(fā)送從設備服務端獲取的設備數據之前，先對其存儲，則當后續(xù)再產生設備數據獲取請求時，可直接發(fā)送至遠程終端。
[0032]步驟205，數據中心服務器將所請求的設備數據發(fā)送至遠程終端。
[0033]步驟206，遠程終端顯示該設備數據。具體的，遠程終端30的操作界面可用于顯示該設備數據。
[0034]第二實施例數據分析
[0035]圖3為本實施例的分布式管理系統(tǒng)進行設備數據分析的流程圖。請參考圖3，該方法包括:
[0036]步驟301，通過遠程終端接收數據分析指令。
[0037]步驟302，遠程終端根據該數據分析指令發(fā)出設備數據的獲取請求。
[0038]步驟303，判斷數據中心服務器中是否存儲所請求的設備數據，若數據中心服務器20存儲了所請求的設備數據，則進行步驟305 ;否則，進行步驟304。
[0039]步驟304，數據中心服務器從設備服務端接收請求的設備數據，并存儲。
[0040]步驟305，數據中心服務器將所請求的設備數據發(fā)送至遠程終端。
[0041 ] 步驟306，遠程終端對該設備數據進行分析處理，并將分析處理結果通過操作界面顯不O
[0042]本實施例與第一實施例進行數據查詢的區(qū)別在于，本實施例中遠程終端所接收的輸入信號為數據分析指令，如遠程終端的操作界面上顯示“數據分析”按鈕，由使用者點選該按鈕并輸入要進行分析的設備數據，或操作界面上顯示“數據分析按鈕”以及要分析的數據選項由使用者選擇，從而發(fā)出數據分析指令。遠程終端通過操作界面接收該數據分析指令。之后當遠程終端獲取要進行分析的設備數據后，會對該設備數據分析處理，如生成相應的圖表，供使用者參考。
[0043]第三實施例工藝數據編輯
[0044]圖4為本實施例的分布式管理系統(tǒng)進行工藝數據編輯的流程圖。請參考圖4，該方法包括:
[0045]步驟401，通過遠程終端接收工藝數據的編輯信息。具體來說，本實施例中輸入信號為工藝數據的編輯信息，使用者在遠程終端的操作界面上進行工藝數據的編輯，遠程終端則通過該操作界面接收該編輯信息。
[0046]步驟402，通過遠程終端發(fā)送該編輯信息至數據中心服務器。需要注意的是，工藝數據的編輯信息并不在遠程終端中保存，數據流直接傳輸到數據中心服務器上。
[0047]步驟403，通過數據中心服務器發(fā)送該編輯信息至設備服務端。較佳的，數據中心服務器先將該編輯信息作為一個獨立的工藝數據的版本保存，然后再將編輯信息傳輸至設備服務端。較佳的，數據中心服務器同時保留編輯前的工藝數據，因此工藝數據的各個版本都會保存在數據中心服務器中。
[0048]步驟404，設備服務端根據該編輯信息對各設備進行工藝數據的編輯，供各設備使用。
[0049]在本實施例中，雖然使用者是在遠程終端的操作界面上進行工藝數據的編輯和管理，但能夠實現與直接在設備上的操作完全一致。
[0050]在本實施例中，可由遠程終端的操作界面直接顯示工藝數據的空白編輯界面，由使用者直接輸入編輯信息，創(chuàng)建新的工藝數據；也可由使用者先發(fā)送數據查詢指令，查詢當前各設備的工藝數據并在該操作界面上顯示當前工藝數據的可編輯界面，由使用者在此可編輯界面上進行工藝數據的編輯，對原工藝數據進行修改。
[0051 ] 第四實施例工藝數據刪除
[0052]圖5為本實施例的分布式管理系統(tǒng)進行工藝數據刪除的流程圖。請參考圖5，該方法包括:
[0053]步驟501，通過遠程終端接收工藝數據的刪除指令。具體來說，本實施例中輸入信號為工藝數據刪除指令，遠程終端通過操作界面接收該指令。
[0054]步驟502，通過遠程終端發(fā)送該刪除指令至數據中心服務器。
[0055]步驟503，通過數據中心服務器發(fā)送該刪除指令至設備服務端。較佳的，數據中心服務器保留該刪除指令所針對的工藝數據，工藝數據的各個版本都會保存在數據中心服務器中。
[0056]步驟504，設備服務端根據該刪除指令對各設備進行工藝數據的刪除。
[0057]與第四實施例類似，本實施例中可由遠程終端的操作界面直接顯示工藝數據的刪除按鈕，由使用者選擇該按鈕并輸入要刪除的工藝數據種類；也可由操作界面顯示刪除按鈕以及要刪除的工藝種類選項供使用者選擇；也可由使用者先發(fā)送數據查詢指令，查詢當前各設備的某一工藝數據并在該操作界面上顯示當前工藝數據的可編輯界面，由使用者在此可編輯界面上進行工藝數據的刪除。雖然使用者是在遠程終端的操作界面上進行工藝數據的刪除，但能夠實現與直接在設備上的操作完全一致。
[0058]第五實施例工藝數據的管理
[0059]如前所述，當通過遠程終端對工藝數據進行編輯或刪除后，數據中心服務器仍然保留了工藝數據編輯前的版本或刪除指令所針對的版本，因此仍可對工藝數據的各個版本進行管理。例如當想要將工藝數據恢復到編輯之前或刪除之前的版本，遠程終端只需發(fā)出數據指令(如還原指令)就能夠從數據中心服務器快速調取所需的工藝數據的版本并將其發(fā)送至設備服務端，設備服務端接收該編輯前或刪除前的版本以對各設備的工藝數據還原。而例如當想要刪除某一個工藝數據的所有版本時，遠程終端發(fā)出數據指令(如管理刪除指令)，由此存儲在數據中心服務器上的該工藝數據的所有版本都將被刪除，不會再發(fā)送至設備服務端供各設備使用。
[0060]第六實施例數據備份與還原
[0061]在本實施中，數據中心服務器包括一存儲區(qū)，例如非易失性存儲器，用于備份數據中心服務器所存儲的數據。數據中心服務器可定期通過該非易失性存儲器進行數據備份，或在每一次存儲數據時順勢備份一份到該非易失性存儲器，或者接收來自遠程終端的“備份”的指令數據而將特定數據備份至該非易失性存儲器。當數據中心服務器因故障或意外造成數據丟失時，可從非易失性存儲器中將數據還原。
[0062]綜上所述，本發(fā)明的半導體工廠設備分布式管理系統(tǒng)，通過數據中心服務器與設備服務端以及遠程終端之間的數據交互，能夠輔助使用者對半導體工廠中的各個設備進行遠程托管，如可實現半導體工廠中各設備工藝數據的管理，設備數據的保存和恢復，以及設備數據的遠程查詢和分析等功能。
[0063]雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭示如上，然所述諸多實施例僅為了便于說明而舉例而已，并非用以限定本發(fā)明，本領域的技術人員在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下可作若干的更動與潤飾，本發(fā)明所主張的保護范圍應以權利要求書所述為準。
【權利要求】
1.一種半導體工廠設備的分布式管理系統(tǒng)，其特征在于，包括設備服務端，數據中心服務器以及遠程終端，其中， 所述設備服務端與所述半導體工廠內的各設備進行數據交互； 所述數據中心服務器與所述設備服務端和所述遠程終端相連，并進行數據交互； 所述遠程終端通過所述數據中心服務器獲取所述各設備的設備數據以及對所述各設備進行設備數據管理。
2.根據權利要求1所述的分布式管理系統(tǒng)，其特征在于，所述數據中心服務器接收所述設備服務端傳輸的所述半導體工廠內各設備的設備數據，并對該設備數據進行存儲。
3.根據權利要求2所述的分布式管理系統(tǒng)，其特征在于，所述遠程終端提供一顯示界面，用于接收輸入信號以及顯示其接收的所述設備數據。
4.根據權利要求3所述的分布式管理系統(tǒng)，其特征在于，所述遠程終端根據該輸入信號向所述數據中心服務器發(fā)出設備數據獲取請求，當所述數據中心服務器存儲其請求的所述設備數據時，傳輸該設備數據至所述遠程終端，當所述數據中心服務器未存儲其請求的所述設備數據時，從所述設備服務端獲取該設備數據后存儲并傳輸至所述遠程終端。
5.根據權利要求4所述的分布式管理系統(tǒng)，其特征在于，所述輸入信號為數據查詢指令。
6.根據權利要求4所述的分布式管理系統(tǒng)，其特征在于，所述輸入信號為數據分析指令，所述遠程終端接收請求獲取的所述設備數據后對該設備數據進行分析處理并通過所述顯示界面顯示分析處理結果。
7.根據權利要求1所述的分布式管理系統(tǒng)，其特征在于，所述設備數據包括工藝數據，所述遠程終端通過操作界面接收一工藝數據的編輯信息，并將該編輯信息傳輸至所述數據中心服務器，由其輸出至所述設備服務端以對所述各設備進行工藝數據的編輯。
8.根據權利要求7所述的分布式管理系統(tǒng)，其特征在于，所述數據中心服務器存儲該工藝數據的編輯信息。
9.根據權利要求1所述的分布式管理系統(tǒng)，其特征在于，所述設備數據包括工藝數據，所述遠程終端通過操作界面接收一工藝數據的刪除指令，并將該刪除指令傳輸至所述數據中心服務器，由其輸出至所述設備服務端以對所述各設備進行工藝數據的刪除。
10.根據權利要求9所述的分布式管理系統(tǒng)，其特征在于，所述數據中心服務器保留所述刪除指令所針對的工藝數據。
11.根據權利要求1所述的分布式管理系統(tǒng)，其特征在于，所述數據中心服務器對其所存儲的設備數據制作備份數據。
12.根據權利要求11所述的分布式管理系統(tǒng)，其特征在于，所述數據中心服務器的設備數據丟失時，通過該備份數據還原。
【文檔編號】H04L29/08GK103763401SQ201410058363
【公開日】2014年4月30日 申請日期:2014年2月20日 優(yōu)先權日:2014年2月20日
【發(fā)明者】魏靖南, 張立超, 鐘結實, 賈軼群 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司