技術(shù)編號：7772216
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開提出一種MEMS傳聲器，其包括外殼、PCB板以及位于外殼內(nèi)部且設(shè)置于PCB板上的ASIC芯片與MEMS振動膜片；所述外殼設(shè)置有多個聲孔且底面開口，PCB板將該底面開口密封；所述MEMS振動膜片包括基膜、附著于基膜一側(cè)表面的上電極層以及附著于基膜另一側(cè)表面的下電極層所述基膜由氮化硅制成，厚度為5-15μm；所述上電極層為鋁金屬層，厚度為0.03-0.05μm；所述下電極層厚度為0.3-0.7μm；所述下電極層的組分及重量百分比為Al10%-15%；...
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