技術(shù)編號(hào):7638343
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總的說(shuō)來(lái)涉及微機(jī)械加工的器件,更具體地,涉及微機(jī)械 加工的麥克風(fēng)和慣性傳感器。背景技術(shù)微機(jī)械加工的麥克風(fēng)典型地包括薄的隔膜(diaphragm)電極以及 布置在該隔膜電極旁邊的固定的傳感電極。該隔膜電極和固定的傳感 電極作為電容器的極板。在麥克風(fēng)的操作期間,在隔膜電極和固定的 傳感電極上布置電荷。當(dāng)隔膜電極響應(yīng)聲波而振動(dòng)時(shí),在隔膜電極和 固定的傳感電極之間的距離的改變導(dǎo)致了與聲波對(duì)應(yīng)的電容變化。圖1示出了本領(lǐng)域中已知的微機(jī)械加工的麥克風(fēng)的大體結(jié)構(gòu)。其...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。