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制造閃存裝置的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):75676

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體裝置,尤其涉及一種。技術(shù)背景閃存裝置是即使在電源切斷的情況下也不會(huì)損壞所存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)的非易失性存儲(chǔ) 介質(zhì)。閃存裝置在諸如記錄、讀取和刪除等方面具有相對(duì)高的處理速度的優(yōu)勢(shì)。所以, 閃存裝置被廣泛地用于PC的主板、機(jī)頂盒、打印機(jī)以及網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器等的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器中。 閃存裝置最近應(yīng)用于諸如數(shù)碼相機(jī)、手機(jī)等的裝置中。但是,隨著對(duì)高度集成裝置的需 求的增加,閃存裝置的單位晶格(unitcell)的尺寸減小了,并且形成單位晶格的柵極區(qū)域 之間的空間間隔也減小了,使得當(dāng)形成金屬線(xiàn)時(shí)產(chǎn)生空隙。如圖1所示,90...
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