技術編號：7552592
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種電容式硅麥克風及其制備方法，特別是公開ー種采用多孔SOI硅娃鍵合的MEMS娃麥克風,屬于娃麥克風的。背景技術麥克風能把人的語音信號轉化為相應的電信號，廣泛應用于手機，電腦，電話機，照相機及攝像機等。傳統(tǒng)的駐極體電容式麥克風采用特氟龍作為振動薄膜，不能承受在印刷電路板回流焊接エ藝近300度的高溫，從而只能與集成電路的組裝分開，単獨手工裝配，大大增加了生產成本。近三十年的MEMS (Microelectromechanical Systems)技...
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