技術(shù)編號:7424742
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是一種為集成電路內(nèi)部提供有效的ESD靜電保護(hù)的ESD保護(hù)電路,屬 于半導(dǎo)體制作。背景技術(shù)靜電放電ESD (ElectrostaticDischarge)是當(dāng)今集成電路中最重要的可靠性 問題之一。隨著集成電路制造技術(shù)的發(fā)展,特征尺寸的不斷縮小,抗靜電的能力越 來越弱,但在微電子制造和使用的環(huán)境中,器件遭受ESD的機(jī)會卻越來越多,這使 得ESD對集成電路的影響也越來越大,ESD損傷成為新工藝上關(guān)注的焦點。ESD現(xiàn)象主要能對電子器件造成以下的損壞在半導(dǎo)體器...
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