技術(shù)編號(hào):7316651
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于運(yùn)動(dòng)控制,具體的說(shuō),是指在FPGA (現(xiàn)場(chǎng)可編程邏輯 門陣列)芯片內(nèi)部實(shí)現(xiàn)了基于DDS技術(shù)的三軸步進(jìn)電機(jī)運(yùn)動(dòng)控制器。可以應(yīng)用 于任何使用步進(jìn)電機(jī)的線性運(yùn)動(dòng)控制場(chǎng)合。 背景技術(shù)晶圓檢測(cè)設(shè)備是半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中的必需設(shè)施,晶圓檢測(cè)設(shè)備中顯微鏡的運(yùn) 動(dòng)控制非常關(guān)鍵,三軸步進(jìn)電機(jī)運(yùn)動(dòng)控制器是顯微鏡電動(dòng)控制臺(tái)的核心部分。顯 微鏡電動(dòng)控制臺(tái)一般采用專業(yè)運(yùn)動(dòng)控制芯片或運(yùn)動(dòng)控制卡來(lái)實(shí)現(xiàn),價(jià)格昂貴,采 用FPGA來(lái)實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)控制器,可大幅度降低費(fèi)用,以極低的成本實(shí)現(xiàn)運(yùn)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。