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基于dds技術(shù)的步進(jìn)電機(jī)運(yùn)動(dòng)控制器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7316651

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本發(fā)明屬于運(yùn)動(dòng)控制,具體的說(shuō),是指在FPGA (現(xiàn)場(chǎng)可編程邏輯 門陣列)芯片內(nèi)部實(shí)現(xiàn)了基于DDS技術(shù)的三軸步進(jìn)電機(jī)運(yùn)動(dòng)控制器。可以應(yīng)用 于任何使用步進(jìn)電機(jī)的線性運(yùn)動(dòng)控制場(chǎng)合。 背景技術(shù)晶圓檢測(cè)設(shè)備是半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中的必需設(shè)施,晶圓檢測(cè)設(shè)備中顯微鏡的運(yùn) 動(dòng)控制非常關(guān)鍵,三軸步進(jìn)電機(jī)運(yùn)動(dòng)控制器是顯微鏡電動(dòng)控制臺(tái)的核心部分。顯 微鏡電動(dòng)控制臺(tái)一般采用專業(yè)運(yùn)動(dòng)控制芯片或運(yùn)動(dòng)控制卡來(lái)實(shí)現(xiàn),價(jià)格昂貴,采 用FPGA來(lái)實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)控制器,可大幅度降低費(fèi)用,以極低的成本實(shí)現(xiàn)運(yùn)...
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