技術(shù)編號(hào):7264708
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供能利用簡單的結(jié)構(gòu)也包括高度、傾斜而自動(dòng)地對(duì)更換夾頭時(shí)的誤差進(jìn)行修正(調(diào)整)的芯片接合機(jī)、接合頭裝置以及夾頭位置調(diào)整方法。為了進(jìn)行更換具備向內(nèi)部引導(dǎo)真空的支架(41h)、以及能裝卸地安裝在支架的前端的柄(41s)與夾頭(41c)的接合頭裝置中的夾頭后的夾頭的位置調(diào)整,在更換夾頭前,將該夾頭的背面配置在接合頭裝置的下方,利用由非遠(yuǎn)心透鏡構(gòu)成光學(xué)系統(tǒng)的背面攝像機(jī)(42)進(jìn)行攝像,在更換夾頭后,利用背面攝像機(jī)構(gòu)對(duì)更換后的夾頭的背面進(jìn)行攝像,以更換前后的夾...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。