技術(shù)編號：7261936
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種生物場效應(yīng)晶體管（BioFET）和制造BioFET器件的方法。該方法包括使用與互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體（CMOS）工藝兼容或者互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體工藝特有的一種或多種工藝步驟來形成BioFET。BioFET器件包括襯底、具有鄰近溝道區(qū)的處理層的晶體管結(jié)構(gòu)、隔離層、以及位于處理層上的隔離層的開口中的介電層。介電層和處理層設(shè)置在晶體管的與柵極結(jié)構(gòu)相對的側(cè)面上。處理層可以是輕摻雜的溝道層或者耗盡層。本發(fā)明還提供了一種性能增強(qiáng)的背面感測生物場效應(yīng)晶體管。...
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