技術(shù)編號(hào)：7258581
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種。首先，提供基底，此基底包括第一區(qū)及第二區(qū)。接著，在基底上形成目標(biāo)層。然后，在目標(biāo)層上形成第一圖案化的光致抗蝕劑層，此第一圖案化的光致抗蝕劑層在第一區(qū)具有多個(gè)開口，并且在第二區(qū)上的第一圖案化的光致抗蝕劑層至少有一部分的厚度小于在第一區(qū)上的第一圖案化的光致抗蝕劑層的厚度。之后，在第一開口之中以及第一圖案化的光致抗蝕劑層上形成第二光致抗蝕劑層。本發(fā)明提供的僅利用一道光罩工藝即可在基底的第一區(qū)及第二區(qū)上形成具有不同厚度的第一圖案化的光致抗蝕劑層，此...
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