技術(shù)編號:7257860
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請公開了一種。一示例存儲器件可以包括襯底;在襯底上形成的背柵;晶體管,包括在襯底上在背柵的相對兩側(cè)形成的鰭;以及在襯底上形成的柵堆疊,所述柵堆疊與鰭相交;以及在背柵的底面和側(cè)面上形成的背柵介質(zhì)層,其中,在柵堆疊的一側(cè),背柵介質(zhì)層在面對鰭的區(qū)域處具有減薄部分。專利說明 [0001]本公開涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域,更具體地,涉及一種。 背景技術(shù) [0002]浮柵晶體管結(jié)構(gòu)一種常見的閃存器件實(shí)現(xiàn)方式。然而,隨著器件的不斷小型化,浮柵中能夠存儲的電荷越來越少。...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。