技術(shù)編號：7254618
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。基板處理裝置(1)具有基板保持單元(5)，其將基板保持為水平姿勢；板(8)，其具有水平且平坦的液體保持面(11)，所述液體保持面(11)具有與被所述基板保持單元(5)保持的基板的主面相同或比該主面大的大小，且與所述基板的主面的下方相向；處理液供給單元(20)，其用于向所述液體保持面(5)供給處理液；移動單元(29)，其使所述基板保持單元(5)以及所述板(8)相對移動，來使基板的主面與液體保持面接近或分離；控制單元(50)?？刂茊卧?50)控制所述處理液供給...
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