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具有不對(duì)稱柵極的垂直晶體管的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7252590

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一種晶體管結(jié)構(gòu)被形成為包含襯底以及位于所述襯底上方的源極、漏極和溝道,所述溝道被垂直地設(shè)置在所述源極與所述漏極之間。所述溝道被耦接至柵極導(dǎo)體,所述柵極導(dǎo)體經(jīng)由柵極電介質(zhì)材料層圍繞所述溝道,所述柵極電介質(zhì)材料層圍繞所述溝道。所述柵極導(dǎo)體由具有第一功函數(shù)的第一導(dǎo)電材料和具有第二功函數(shù)的第二導(dǎo)電材料構(gòu)成,所述第一導(dǎo)電材料圍繞所述溝道的長度的第一部分,所述第二導(dǎo)電材料圍繞所述溝道的長度的第二部分。還公開了一種制造所述晶體管結(jié)構(gòu)的方法。可將所述晶體管結(jié)構(gòu)表征為具有不...
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