技術(shù)編號(hào):7249692
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種襯底膜及其制造方法。本發(fā)明可以提供一種展現(xiàn)優(yōu)異的耐熱性和尺寸穩(wěn)定性的襯底膜,所述襯底膜具有優(yōu)異的應(yīng)力松弛,由此防止由殘余應(yīng)力所導(dǎo)致的晶片破裂,可以抑制由在晶片加工過程中的非均勻壓力施加而導(dǎo)致的晶片損壞或飛濺等,并且具有優(yōu)異的切割性。因此,本發(fā)明的襯底膜可以有效地用作各種晶片的加工過程(如切割、背面研磨或拾?。┲械募庸て@f明[0001]本發(fā)明涉及一種,涉及一種用于加工包括上述襯底膜的晶片的壓敏粘合片、以及使用所述壓敏粘合片的晶片加工方法。...
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