技術(shù)編號(hào)：7248017
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種可用于PID與ILD測(cè)試的測(cè)試結(jié)構(gòu)及晶圓。其中，所述測(cè)試結(jié)構(gòu)至少包括呈叉指狀且用于收集電荷的天線部，其包含第一連接端與第二連接端；以及場(chǎng)效應(yīng)管結(jié)構(gòu)部，包括形成場(chǎng)效應(yīng)管所需要的結(jié)構(gòu)，且所形成的場(chǎng)效應(yīng)管的柵極連接所述天線部的第一連接端。所述晶圓至少包括前述的測(cè)試結(jié)構(gòu)；以及均設(shè)置在表層的多個(gè)電氣連接點(diǎn)，每一個(gè)電氣連接點(diǎn)連接一個(gè)測(cè)試結(jié)構(gòu)所包含的第二連接端、以及每一個(gè)測(cè)試結(jié)構(gòu)各自所形成的場(chǎng)效應(yīng)管的柵極、漏極、源極及所述場(chǎng)效應(yīng)管的襯底連接端中的一個(gè)。本發(fā)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。