技術(shù)編號(hào):7248011
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開(kāi)了一種防止硅片在腔體搬送過(guò)程中偏移破片的裝置,包括一腔體、至少3個(gè)光電傳感器、控制裝置及機(jī)械手,所述腔體的頂蓋為透明材料制成;所述光電傳感器不在一條直線的固定安裝在所述腔體頂蓋上,所述至少3個(gè)光電傳感器的信號(hào)端串聯(lián)到控制裝置,所述控制裝置與機(jī)械手相連,硅片通過(guò)機(jī)械手進(jìn)行移動(dòng)。本發(fā)明能精確監(jiān)測(cè)硅片位姿,一旦監(jiān)測(cè)到硅片偏移,及時(shí)制動(dòng)報(bào)警,避免硅片被撞壞或偏移進(jìn)腔,導(dǎo)致成膜異常。專(zhuān)利說(shuō)明[0001]本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體集成電路制造工藝設(shè)備,特別是涉及一...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。