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靜電保護(hù)結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7246970

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本發(fā)明公開了一種靜電保護(hù)結(jié)構(gòu),包括P型襯底中的N型深阱,N型深阱上部的P阱、N+擴(kuò)散區(qū)和場(chǎng)氧化區(qū),P阱上部的P+擴(kuò)散區(qū)、N+擴(kuò)散區(qū)和場(chǎng)氧化區(qū),多晶硅柵極生長(zhǎng)在N型深阱和P阱的上方;其中,所述P阱上部的N+擴(kuò)散區(qū)靠近多晶硅柵極的一側(cè)還有一P+有源區(qū),所述P+有源區(qū)與所述P阱上部N+擴(kuò)散區(qū)之間具有場(chǎng)氧化區(qū),P阱上部的P+擴(kuò)散區(qū)和N+擴(kuò)散區(qū)相接引出作為接地端,所述P+有源區(qū)通過(guò)電阻和電容與所述N型深阱上部的N+擴(kuò)散區(qū)相接引出作為靜電輸入端,多晶硅柵極引出連接在所...
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