技術(shù)編號：7246358
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種制造方法提供具有半導(dǎo)體主體的半導(dǎo)體器件，所述半導(dǎo)體主體限定源極區(qū)段、主體區(qū)段、漂移區(qū)段和二極管區(qū)段。漂移區(qū)段具有第一漂移區(qū)段部分和第二漂移區(qū)段部分。二極管區(qū)段被掩埋在漂移區(qū)段內(nèi)，并且具有與漂移區(qū)段相反的半導(dǎo)體類型從而形成二極管。二極管區(qū)段通過在垂直方向上從二極管區(qū)段延伸的第一漂移區(qū)段部分而與柵極電極分開。柵極電極與主體區(qū)段鄰近并且通過柵極電介質(zhì)與主體區(qū)段絕緣。源極電極電連接到源極區(qū)段、主體區(qū)段和二極管區(qū)段。在第一漂移區(qū)段部分與源極電極之間設(shè)置與漂移區(qū)段...
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