技術編號：7244373
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。。本發(fā)明提供了一種利用間隙壁技術形成柵極的晶體管的制造方法。在本發(fā)明的方法中，在虛設柵極堆棧的側面，依次形成第一間隙壁、第二間隙壁和第三間隙壁，通過去除第二間隙壁形成了寬度由第二間隙壁控制的柵極凹槽，繼而在柵極凹槽中形成所需要的柵極和柵極絕緣層。本發(fā)明中，利用回刻蝕形成間隙壁，不需要采用額外的掩模版，并且，通過控制第二間隙壁的寬度來限定柵極寬度，可以實現(xiàn)亞22nm的柵極線條的形成，并且使工藝具有良好的可控性。專利說明[0001]本發(fā)明涉及領域，特別地，涉及...
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