技術(shù)編號：7241988
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及ー種壓カ傳感器，本發(fā)明尤其涉及ー種在單一的半導(dǎo)體基板上形成有將壓カ轉(zhuǎn)換為電信號的壓カ轉(zhuǎn)換部、和對由該壓カ轉(zhuǎn)換部所轉(zhuǎn)換的電信號進(jìn)行處理的信號處理電路的壓カ傳感器。背景技術(shù)以往，已提供有各種壓カ傳感器，該壓カ傳感器在単一的半導(dǎo)體基板上形成有由隔膜(diaphragm)及壓電電阻元件構(gòu)成的壓カ轉(zhuǎn)換部、和對壓カ轉(zhuǎn)換部所轉(zhuǎn)換的電信號進(jìn)行處理的信號處理電路。例如，專利文獻(xiàn)I所掲示的壓カ傳感器，在單晶硅基板上形成隔膜及壓電電阻元件，并且在該隔膜的周圍形成有信號...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。