技術(shù)編號：7241544
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種基板搬送裝置（7)，是將載置于基板支持構(gòu)件（T)的基板（P)與該基板支持構(gòu)件一起搬送，其特征在于具備使載置有前述基板的前述基板支持構(gòu)件振動的加振部（V);保持前述加振部使振動的前述基板支持構(gòu)件并移動的搬送部（4)。專利說明[0001] 本申請是基于2009年10月28日提出申請的美國臨時申請第61/272745號主張 優(yōu)先權(quán)并將其內(nèi)容在此引用。 [0002] 本發(fā)明是關(guān)于一種基板搬送裝置、曝光裝置、基板支持裝置、及元件制造方法。 背景技術(shù) [...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。