技術(shù)編號：7237354
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及把LCD (Liquid Crystal Display,液晶顯示器)和PDP (Plasma Display Panel,等離子顯示面板)等FPD (Flat Panel Display,平板顯示器)用的基板和半導(dǎo)體晶片等作為被檢査對象來進(jìn)行缺陷檢查 的缺陷檢査裝置及缺陷檢査方法。本發(fā)明要求2006年12月8日提交的在先日本專利申請第2006 — 331770號的優(yōu)先權(quán)，并將其內(nèi)容引用于此。背景技術(shù)在上述基板的檢查中，在一個檢査裝置中按照各種條...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。