技術(shù)編號：7236703
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種集成電路工藝方法以及壓焊窗口，特別是涉及一種于集成 電路制造工藝中防止水汽和可動離子進(jìn)入內(nèi)部電路的方法及相應(yīng)壓焊窗口。背景技術(shù)在實(shí)際的使用中，集成電路比較容易受到外部環(huán)境的影響，而產(chǎn)生破壞的 主要模式有水汽和可動離子對內(nèi)部電路的滲透。單獨(dú)的水汽并不能腐蝕鋁線， 但一旦有離子在水中，就可能形成具腐蝕性的溶液，特別是含磷硅玻璃的介質(zhì) 層中的磷與水汽反應(yīng)形成磷酸，而磷酸會對金屬連線造成嚴(yán)重的侵蝕。而可動 離子的滲透主要導(dǎo)致器件參數(shù)的變化，特別是對場...
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