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使用虛擬柵極的外圍電路區(qū)域中的半導體器件的制作方法技術資料下載

技術編號:7236009

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本發(fā)明涉及一種半導體器件,更具體地涉及一種其中布局面積可以減小 的外圍電路區(qū)域中的半導體器件。背景技術隨著半導體器件趨于高度集成、高速度、低功耗和緊湊尺寸,正在發(fā)展的MOSFET器件的設計規(guī)則已不斷減小。相應地,柵極的尺寸不斷地減小。 這種趨勢減小了在單元內和外圍電路區(qū)域內的半導體器件的柵極的尺寸。特 別地,60納米技術所要求的外圍電路中柵極的尺寸已經(jīng)減小到約100納米。結果,現(xiàn)有的平面晶體管結構限制了具體器件所要求的MOSFET器件 的閾值電壓(Vt)目...
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