技術(shù)編號：7230275
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及將基板保持在基板保持旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)而進(jìn)行處理的基板處理裝置、以及這種基板處理裝置中的基板搬送方法。成為處理或搬送的對象的基板例如包括半導(dǎo)體晶片、液晶顯示裝置用基板、等離子顯示器用基板、FED(Field Emission Display場致發(fā)射顯示器)用基板、光盤用基板、磁盤用基板、光磁盤用基板、光掩模用基板等。背景技術(shù) 對半導(dǎo)體晶片等基板進(jìn)行處理的基板處理裝置具備有保持基板并使其旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)卡盤、向由該旋轉(zhuǎn)卡盤保持的基板供給處理液的處理液噴嘴。旋轉(zhuǎn)卡盤...
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