技術(shù)編號:7230144
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體電容器,更具體地說,本發(fā)明涉及在HOT襯底內(nèi)形成的半導(dǎo)體電容器。背景技術(shù) 制造半導(dǎo)體電容器的一種傳統(tǒng)方法包括在襯底內(nèi)形成兩個溝槽第一溝槽用于電容器本身,第二溝槽用于為電容器提供一個電接頭(electrical contact)。因此,需要一種比現(xiàn)有技術(shù)的方法更簡單的用于在襯底內(nèi)形成電容器及其電接頭的方法。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提出一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu),包括(a)半導(dǎo)體襯底;(b)在半導(dǎo)體襯底的頂上的電絕緣區(qū);(c)在半導(dǎo)體襯底的頂上并與之直接物理接觸的第...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。