技術(shù)編號：7229615
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)和一種制造半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的方法。更特別地，本發(fā)明涉及將硅化物接觸(源極/漏極和/或柵極)與互連結(jié)構(gòu)相接合的線路中間(MOLmiddle-of-the-line)金屬化層(metallurgy)，以及制造這樣的MOL金屬化層的方法。背景技術(shù) 鎢(W)廣泛地用于半導(dǎo)體工業(yè)，作為線路中間(MOL)金屬化層，將半導(dǎo)體器件或集成電路的硅化物接觸與上覆的互連結(jié)構(gòu)相接合。MOL金屬化層典型地在構(gòu)圖的電介質(zhì)材料(例如SiO2)之內(nèi)形成，這種構(gòu)圖的電介質(zhì)...
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