技術(shù)編號：7222476
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。無背景技術(shù)按比例縮小集成電路裝置需要將高介電常數(shù)材料并入電容器和柵極中。由于當(dāng)前技 術(shù)的最小尺寸實際受到使用標(biāo)準(zhǔn)介電材料的束縛，故有關(guān)新穎高介電常數(shù)材料和工藝的 研究變得越來越重要。相比常規(guī)介電材料，含有堿土金屬的介電材料可在電容量方面提 供明顯的優(yōu)勢。舉例來說，鈣鈦礦材料SrTiO3具有巳揭示的高達(dá)500的本體介電常數(shù)。不幸的是，經(jīng)證實，將堿土金屬成功整合到氣相沉積方法中相當(dāng)困難。舉例來說， 盡管己揭示堿土金屬二酮鹽的原子層沉積(ALD)，但這些金屬二酮...
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