技術(shù)編號：7217060
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及半導(dǎo)體制造，特別涉及一種用于晶片支撐裝置 的調(diào)制樣片。技術(shù)背景半導(dǎo)體晶片處理系統(tǒng)中通常包含晶片支撐裝置，用以支撐處理容器中的晶片。而晶片的固定，通常由機(jī)械固定或靜電吸盤(chuck)所提供。不同的晶 片處理系統(tǒng)中的晶片支撐裝置大多包含將晶片固定于晶片支撐體上以及對晶 片進(jìn)行加熱及/或冷卻的各種部件；此外，旋涂系統(tǒng)內(nèi)的晶片支撐裝置還包 含對晶片背面進(jìn)行及時沖洗的各種部件。當(dāng)前，對晶片支撐裝置的研究大多集中在對晶片支撐裝置的加熱及/或 冷卻部件的...
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