技術(shù)編號(hào):7213746
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種,更具體地,涉及利用激光光刻的。背景技術(shù) 在常規(guī)構(gòu)圖方法中,光致抗蝕劑被涂覆在形成有薄膜的基板上,然后利用形成有預(yù)定圖案的掩模在曝光對(duì)準(zhǔn)器設(shè)備中用紫外線輻照。此時(shí),在正光致抗蝕劑的情況下,用紫外線輻照的部分光致抗蝕劑固化,而在隨后的顯影處理期間借助于顯影液除去光致抗蝕劑的其它部分,使得在薄膜上能形成預(yù)定的光致抗蝕劑圖案。在薄膜上已形成光致抗蝕劑圖案之后,利用蝕刻設(shè)備蝕刻沒(méi)有形成光致抗蝕劑圖案的部分薄膜,以便能在基板上形成所需圖案。然而,隨著在...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。