技術編號：7213489
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及邊通過滾輪等運送玻璃基板等基板邊進行各種處理的運送處理裝置。背景技術 以往，如專利文獻1所示，已知有如下的運送處理裝置，即，為了提高處理效率，沿基板的運送線路配置各種處理裝置，邊通過滾輪等運送玻璃基板等邊進行各種處理。在這樣的沿基板運送線路配置了各種處理裝置的運送處理裝置中，有時例如也在UV照射裝置(干燥單元)的下游側配置清洗裝置(潤濕單元)，在將基板送入UV照射裝置并去除附著于表面的有機物后，用清洗裝置清洗玻璃基板的表面。專利文獻1JP特開20...
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