技術(shù)編號(hào):7212653
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及包括以最小間距設(shè)置的字線的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件。背景技術(shù) 半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件包括以行和列設(shè)置的存儲(chǔ)單元陣列。存儲(chǔ)單元晶體管行的柵電極通過(guò)字線連接,借助于其來(lái)尋址存儲(chǔ)單元。將字線定形為平行設(shè)置的字線堆疊。字線通過(guò)介電材料橫向彼此電絕緣。在外圍區(qū)域中每個(gè)字線在字線的一端都設(shè)置有接觸區(qū)域。接觸區(qū)域具有大于帶狀字線堆疊的橫向尺寸。因此,以交錯(cuò)的方式設(shè)置接觸區(qū)域。兩個(gè)字線堆疊之間的橫向距離和字線堆疊的寬度共計(jì)為字線陣列的間距。該間距是周期圖案或者設(shè)置的周期尺寸。字線...
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