技術(shù)編號：7207886
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總體涉及物體的檢查。具體來講，本發(fā)明涉及一種檢查晶片(wafer)缺陷 的裝置和方法。背景技術(shù)太陽能電池廠商在其太陽能晶片上進(jìn)行例行檢查。這是為了確保識別出任何有缺 陷的太陽能電池，以控制太陽能電池的質(zhì)量。太陽能晶片是在制造太陽能電池的過程中通常使用的硅晶體薄片。太陽能晶片充 當(dāng)了太陽能電池的基板，并且在成為可用的太陽能電池之前要經(jīng)受一系列的制造工藝，例 如，沉積、刻蝕以及構(gòu)圖。因此，為了提高產(chǎn)品生產(chǎn)率(production yield)并降低生產(chǎn)成...
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