技術編號：7207398
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。發(fā)明背景 發(fā)明領域本發(fā)明的實施方案通常涉及太陽能器件、半導體器件和電子器件的制造，且更具 體地，涉及外延遷移Epitaxial lift off, EL0)器件和方法。相關技術的描述器件制造中的一個階段包括處理和封裝用作太陽能器件、半導體器件或其他電子 器件的薄膜。這類薄膜器件可通過使用各種用于在晶片或其他基底上沉積并移除材料的工 藝來制造。用于制造薄膜器件的一種罕見技術稱為外延遷移(ELO)工藝。ELO工藝包括在 生長基底上的犧牲層上沉積外延層或膜，接著...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。