技術(shù)編號：7207205
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種具有電-機械轉(zhuǎn)換功能的。 背景技術(shù)具有鈣鈦礦型結(jié)構(gòu)的氧化物電介體薄膜用通式ABO3表示，顯示出優(yōu)異的強介電 性、壓電性、焦電性及電光學(xué)特性。作為對各種傳感器或致動器等廣泛的設(shè)備有用的材料 而備受矚目，可以認為今后其利用范圍會急劇擴大。對于作為鈣鈦礦型氧化物的鋯鈦酸鉛 (PZT 通式Pb (ZrxTih) O3 (0<x< 1))系薄膜，由于其具有高壓電性，因此，可用作壓電傳 感器或壓電致動器等壓電體元件。壓電傳感器利用的是強介電性...
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