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介電膜制造方法以及使用了該介電膜制造方法的電容器層形成材料的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7205927

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本發(fā)明涉及介電膜制造方法、使用了該介電膜制造方法的電容器層形成材料的制 造方法、電容器層形成材料和電容器電路。背景技術(shù)如專利文獻1所公開,近年來,包含位于多層印刷布線板內(nèi)層的電容器電路的電 容器層,是通過對具備3層結(jié)構(gòu)的電容器層形成材料進行蝕刻加工而得到,所述3層結(jié)構(gòu)是 上部電極形成層/介電層/下部電極形成層的3層結(jié)構(gòu)。而且,此時的介電層是用于蓄積 一定量的電荷,且該介電層的形成方法可采用多種多樣的方法。特別是,為了獲得大面積的電容器層形成材料,一直以來采...
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