技術(shù)編號(hào)：7205296
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種粒子處理，尤其涉及一種偵測(cè)粒子束特性的裝置及方法。 背景技術(shù)離子植入是在制造半導(dǎo)體裝置中所執(zhí)行的特性改變制程。在其他工具中，可以使 用束線離子植入機(jī)。圖1顯示為現(xiàn)有的離子植入機(jī)的示意圖?，F(xiàn)有的離子植入機(jī)可以包 括可以被電源供應(yīng)器101偏置的離子源102。離子源102通常包含在真空室(稱為源殼體 (source housing))(未示出)中。離子植入系統(tǒng)100也可以包括一系列的離子10通過的束 線構(gòu)件。一系列的束線構(gòu)件可以包括諸如萃取電極10...
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