技術(shù)編號(hào)：7189076
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及機(jī)械和半導(dǎo)體制造行業(yè)中的工作平臺(tái)，尤其涉及一種工作平臺(tái)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。 背景技術(shù)目前，在機(jī)械和半導(dǎo)體行業(yè)中，為了實(shí)現(xiàn)工作平臺(tái)的移動(dòng)，最常用的技術(shù)手段采用 電機(jī)絲桿傳動(dòng)，如機(jī)床的工作平臺(tái)也采用電機(jī)絲桿傳動(dòng)。電機(jī)絲桿傳動(dòng)可以實(shí)現(xiàn)較為精確 的位置傳動(dòng)，定位精度和重復(fù)定位精度較高，誤差小。工作平臺(tái)移動(dòng)平穩(wěn)。在一定空間范圍 里可以實(shí)現(xiàn)較大的行程。 但是，對(duì)于以下情況用電機(jī)絲桿傳動(dòng)就很難實(shí)現(xiàn)。當(dāng)安裝的空間很小，以至于小到 無(wú)法安裝電機(jī)。當(dāng)要求有較大的行程，但...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。