專利名稱：一種工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及機(jī)械和半導(dǎo)體制造行業(yè)中的工作平臺(tái)，尤其涉及一種工作平臺(tái)的
移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
目前，在機(jī)械和半導(dǎo)體行業(yè)中，為了實(shí)現(xiàn)工作平臺(tái)的移動(dòng)，最常用的技術(shù)手段采用 電機(jī)絲桿傳動(dòng)，如機(jī)床的工作平臺(tái)也采用電機(jī)絲桿傳動(dòng)。電機(jī)絲桿傳動(dòng)可以實(shí)現(xiàn)較為精確 的位置傳動(dòng)，定位精度和重復(fù)定位精度較高，誤差小。工作平臺(tái)移動(dòng)平穩(wěn)。在一定空間范圍 里可以實(shí)現(xiàn)較大的行程。 但是，對(duì)于以下情況用電機(jī)絲桿傳動(dòng)就很難實(shí)現(xiàn)。當(dāng)安裝的空間很小，以至于小到 無(wú)法安裝電機(jī)。當(dāng)要求有較大的行程，但要求安裝的距離遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于行程的距離。或者當(dāng)要 求工作平臺(tái)經(jīng)常在斷電和斷氣的情況下維修，以上情況若用這種工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)就可以 較易實(shí)現(xiàn)。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型解決的技術(shù)問(wèn)題是在工作平臺(tái)的狹小的安裝空間中，為工作平臺(tái)提供
一種新型結(jié)構(gòu)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，可以在有較大的行程，但要求安裝的距離遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于行程的距離
的場(chǎng)合使用，同時(shí)可以實(shí)現(xiàn)在斷電和斷氣的情況下對(duì)工作平臺(tái)的維修需求。
—種工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括基礎(chǔ)框架1，若干個(gè)固定盤(pán)，氣浮3，導(dǎo)
軌4，若干個(gè)支架，工作平臺(tái)6，若干個(gè)拉桿，支撐板8，固定螺栓9，支撐架組件11 ，若干個(gè)軸
套，氣缸組件14，固定座16 ，滾輪組件21 ，其中， 氣浮3通過(guò)螺栓與導(dǎo)軌4均安裝在基礎(chǔ)框架1上； 第一定位螺栓13依次穿過(guò)氣缸組件14和第二軸套12后，安裝在基礎(chǔ)框架1上； 另一個(gè)第一定位螺栓13依次穿過(guò)氣缸組件14和第一拉桿15后用螺母固定； 固定座16安裝在基礎(chǔ)框架1上用螺栓固定，第一固定盤(pán)19和第一軸套20通過(guò)螺 栓連接后，螺栓再次穿過(guò)第一拉桿15與固定座16固定； 固定螺栓9依次套上兩個(gè)第一軸套20后穿過(guò)第二拉桿7，用兩個(gè)螺母將固定螺栓 9固定，螺栓依次套上兩個(gè)第一軸套20后穿過(guò)第一固定盤(pán)19后，再次穿過(guò)第二拉桿7和第 二固定盤(pán)2后固定； 滾輪組件21通過(guò)螺栓安裝在工作平臺(tái)6上，工作平臺(tái)6組件安裝在氣浮3上，通 過(guò)螺栓穿過(guò)第二固定盤(pán)后固定； 第三支架5通過(guò)螺栓安裝在基礎(chǔ)框架1上，螺栓穿過(guò)第三支架5、支撐板與工作平 臺(tái)8固定； 第二支架17通過(guò)螺栓安裝在基礎(chǔ)框架1上，第二定位螺栓18穿過(guò)第二支架17、支 撐板8與工作平臺(tái)6固定； 第一支架10通過(guò)螺栓安裝在基礎(chǔ)框架1上，支撐架組件11通過(guò)螺栓安裝在第一支架10上。 所述的一種工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的氣缸組件14可以繞第一定位 螺栓13作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。所述的第一拉桿15可以繞固定座16旋轉(zhuǎn)。所述的第一拉桿15在氣 缸組件14推動(dòng)下可以繞固定座16旋轉(zhuǎn)。所述的第二拉桿7可以繞固定螺栓9旋轉(zhuǎn)。所述 的第二拉桿7在第一拉桿15推動(dòng)下可以繞固定螺栓9旋轉(zhuǎn)。所述的第二拉桿7可以推動(dòng) 工作平臺(tái)6作水平運(yùn)動(dòng)。 所述的一種工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的滾輪組件21包括，輪22，襯套 23，右輪邊24，定位墊片25，底座26，軸承27，螺栓28，左輪邊29 ; 滾輪螺栓28依次穿過(guò)左輪邊29、輪22、軸承27和襯套23及右輪邊24用開(kāi)槽沉 頭螺釘28固定。內(nèi)六角圓柱頭螺釘穿過(guò)定位墊片25及底座26后再次穿過(guò)螺栓28固定。 所述的右輪邊24及左輪邊29起定位作用。所述的氣缸組件14可以繞第一定位螺栓13作 旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。 所述的氣缸組件14可以推動(dòng)第一拉桿15在繞固定座16旋轉(zhuǎn)。所述的第一拉桿 15推動(dòng)第二拉桿7繞固定螺栓9旋轉(zhuǎn)。所述的第二拉桿7可以推動(dòng)工作平臺(tái)6作水平運(yùn) 動(dòng)。滾輪組件21可以沿導(dǎo)軌作水平運(yùn)動(dòng)。所述的工作平臺(tái)移動(dòng)時(shí)，氣浮3會(huì)把工作平臺(tái)浮 起。 本實(shí)用新型的有益效果是整個(gè)移動(dòng)機(jī)構(gòu)裝置結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，重量輕，當(dāng)空間小 到無(wú)法安裝電機(jī)時(shí)仍可以安裝本實(shí)用新型提供的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。該機(jī)構(gòu)定位精度高，此機(jī)構(gòu)有 較大的行程，安裝的距離遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于行程的距離，在斷電和斷氣的情況下具有維修簡(jiǎn)便的優(yōu) 點(diǎn)。

圖1是工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)主視示意圖； 圖2是工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)俯視示意圖； 圖3是工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)右視示意圖； 圖4是工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)滾輪組件主視示意圖； 圖5是工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)滾輪組件俯視示意圖。 標(biāo)號(hào)說(shuō)明1.基礎(chǔ)框架2.第二固定盤(pán)3.氣浮4.導(dǎo)軌5.第三支架6.工作平臺(tái)7.第二拉桿8.支撐板9.固定螺栓10.第一支架11.支撐架組件12.第二軸套13.第一定位螺栓14.氣缸組件15.第一拉桿16.固定座17.第二支架18.第二定位螺栓19.第一固定盤(pán)20.第一軸套21.滾輪組件22.輪23.襯套24.右輪邊25.定位墊片26.底座27.軸承28.滾輪螺栓29.左輪邊1001.大理石平板
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)說(shuō)明。[0035] 結(jié)合圖1、圖2、圖3、圖4、圖5，本實(shí)用新型包括整個(gè)調(diào)整裝置包括基礎(chǔ)框架1， 第二固定盤(pán)2，氣浮3，導(dǎo)軌4，第三支架5，工作平臺(tái)6，第二拉桿7，支撐板8，固定螺栓9，第 一支架IO，支撐架組件ll，第二軸套12，第一定位螺栓13，氣缸組件14，第一拉桿15，固定 座16，第二支架17，第二定位螺栓18，第一固定盤(pán)19，第一軸套20，滾輪組件21，輪22，襯套 23，右輪邊24，定位墊片25，，底座26，軸承27，螺栓28，左輪邊29。 本實(shí)施例中的工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)是將氣浮3通過(guò)螺栓固定安裝在基 礎(chǔ)框架1上，將導(dǎo)軌4通過(guò)螺栓固定安裝在基礎(chǔ)框架1上，第一定位螺栓13依次穿過(guò)氣缸 組件14和第二軸套12后，安裝在基礎(chǔ)框架1上。第二個(gè)第一定位螺栓13依次穿過(guò)氣缸組 件14和第一拉桿15后用螺母固定。固定座16用螺栓固定安裝在基礎(chǔ)框架1上，螺栓依次 穿過(guò)第一固定盤(pán)19和第一軸套20后， 再次穿過(guò)第三支架5和固定座16固定。固定螺栓9依次套上兩個(gè)第一軸套20后 穿過(guò)第二拉桿7，用兩個(gè)螺母將固定螺栓9固定。螺栓依次套上兩個(gè)第一軸套20后穿過(guò)第 一固定盤(pán)19后，再次穿過(guò)第二拉桿7和固定盤(pán)2后固定。將滾輪組件21安裝在工作平臺(tái) 6上，用螺栓固定。將工作平臺(tái)6組件安裝在氣浮3上，用螺栓固定。螺栓穿過(guò)第二固定盤(pán) 2后固定。第三支架5安裝在基礎(chǔ)框架1上，用螺栓固定。螺栓穿過(guò)第三支架5和支撐板8 用螺母固定。螺栓穿過(guò)支撐板8及工作平臺(tái)6后固定。第二支架17安裝在基礎(chǔ)框架1上， 用螺栓固定。第二定位螺栓18穿過(guò)第二支架17和支撐板8用螺母固定。螺栓穿過(guò)支撐板 8及工作平臺(tái)6后固定，第一支架10安裝在基礎(chǔ)框架1上，用螺栓固定。支撐架組件11安 裝在第一支架10上，用螺栓固定。本例滾輪組件21的安裝方法是螺栓28依次穿過(guò)左輪 邊29、輪22、軸承27和襯套23及右輪邊24用開(kāi)槽沉頭螺釘28固定。內(nèi)六角圓柱頭螺釘 穿過(guò)定位墊片25及底座26后再次穿過(guò)螺栓28固定。 氣缸組件14可以繞第一定位螺栓13作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。第一拉桿15可以繞固定座16 旋轉(zhuǎn)。第一拉桿15在氣缸組件14推動(dòng)下可以繞固定座16旋轉(zhuǎn)。第二拉桿7可以繞固定 螺栓9旋轉(zhuǎn)。第二拉桿7在第一拉桿15推動(dòng)下可以繞固定螺栓9旋轉(zhuǎn)。第二拉桿7可以 推動(dòng)工作平臺(tái)6作水平運(yùn)動(dòng)。 滾輪組件21的右輪邊24及左輪邊29起定位作用。氣缸組件14可以繞第一定位 螺栓13作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。氣缸組件14可以推動(dòng)第一拉桿15在繞固定座16旋轉(zhuǎn)。 第一拉桿15推動(dòng)第二拉桿7繞固定螺栓9旋轉(zhuǎn)。第二拉桿7可以推動(dòng)工作平臺(tái) 6作水平運(yùn)動(dòng)。滾輪組件21可以沿導(dǎo)軌作水平運(yùn)動(dòng)。工作平臺(tái)移動(dòng)時(shí)，氣浮3會(huì)把工作平 臺(tái)6浮起。 滾輪組件21的工作平臺(tái)6放置到標(biāo)準(zhǔn)的大理石平板1001上，用百分表測(cè)量大理 石平板的平行度，若平行度不好，在底座26墊銅箔，繼續(xù)調(diào)整平行度，直到滿足要求為止。 測(cè)量工作平臺(tái)組件兩滾輪內(nèi)側(cè)邊的距離H1。測(cè)量?jī)蓪?dǎo)軌4內(nèi)側(cè)邊的距離H2，同時(shí)用百分表 測(cè)量每一邊兩個(gè)輪子內(nèi)側(cè)邊平行度，若不平行在底座26側(cè)面墊銅箔，最終調(diào)整平行。比較 Hl與H2是否相等，若不相等，調(diào)整導(dǎo)軌的距離使其相等。給氣缸組件通氣，工作平臺(tái)就會(huì)沿 著導(dǎo)軌作平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)。 在上述工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)的基礎(chǔ)上，可以增加電磁閥、傳感器、軟件及硬件等設(shè) 施。通過(guò)控制器來(lái)控制氣缸的行程。這樣可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。 在光刻機(jī)整機(jī)集成過(guò)程中，一些工件的移動(dòng)就需要工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，要求工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，重量輕，可以在狹小的空間內(nèi)安裝，(空間小到無(wú)法安裝電 機(jī))。定位精度高，此移動(dòng)機(jī)構(gòu)有較大的行程，但安裝的距離遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于行程的距離。在斷電 和斷氣的情況下易維修。工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)就是這樣一個(gè)符合要求的裝置。根據(jù)需求，設(shè) 計(jì)了一個(gè)工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)。 以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明。凡在本發(fā)明的精 神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求一種工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括基礎(chǔ)框架(1)，若干個(gè)固定盤(pán)，氣浮(3)，導(dǎo)軌(4)，若干個(gè)支架，工作平臺(tái)(6)，若干個(gè)拉桿，支撐板(8)，固定螺栓(9)，支撐架組件(11)，若干個(gè)軸套，氣缸組件(14)，固定座(16)，滾輪組件(21)其中，氣浮(3)通過(guò)螺栓與導(dǎo)軌(4)安裝在基礎(chǔ)框架(1)上；第一定位螺栓(13)依次穿過(guò)氣缸組件(14)和第二軸套(12)后，安裝在基礎(chǔ)框架(1)上；另一個(gè)第一定位螺栓(13)依次穿過(guò)氣缸組件(14)和第一拉桿(15)后用螺母固定；固定座(16)安裝在基礎(chǔ)框架(1)上用螺栓固定，第一固定盤(pán)(19)和第一軸套(20)通過(guò)螺栓連接后，螺栓再次穿過(guò)第一拉桿(15)與固定座(16)固定；固定螺栓(9)依次套上兩個(gè)第一軸套(20)后穿過(guò)第二拉桿(7)，用兩個(gè)螺母將固定螺栓(9)固定，螺栓依次套上兩個(gè)第一軸套(20)后穿過(guò)第一固定盤(pán)(19)后，再次穿過(guò)第二拉桿(7)和第二固定盤(pán)(2)后固定；滾輪組件(21)通過(guò)螺栓安裝在工作平臺(tái)(6)上，工作平臺(tái)(6)組件安裝在氣浮(3)上，通過(guò)螺栓穿過(guò)第二固定盤(pán)后固定；第三支架(5)通過(guò)螺栓安裝在基礎(chǔ)框架(1)上，螺栓穿過(guò)第三支架(5)、支撐板與工作平臺(tái)(8)固定；第二支架(17)通過(guò)螺栓安裝在基礎(chǔ)框架(1)上，第二定位螺栓(18)穿過(guò)第二支架(17)、支撐板(8)與工作平臺(tái)(6)固定；第一支架(10)通過(guò)螺栓安裝在基礎(chǔ)框架(1)上，支撐架組件(11)通過(guò)螺栓安裝在第一支架(10)上。
2. 如權(quán)利要求1所述的一種工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的氣缸組件(14)可 以繞第一定位螺栓(13)作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
3. 如權(quán)利要求l所述的一種工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的第一拉桿(15)可 以繞固定座(16)旋轉(zhuǎn)。
4. 如權(quán)利要求3所述的一種工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的第一拉桿(15)在 氣缸組件(14)推動(dòng)下可以繞固定座(16)旋轉(zhuǎn)。
5. 如權(quán)利要求1所述的一種工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的第二拉桿(7)可 以繞固定螺栓(9)旋轉(zhuǎn)。
6. 如權(quán)利要求5所述的一種工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的第二拉桿(7)在 第一拉桿(15)推動(dòng)下可以繞固定螺栓(9)旋轉(zhuǎn)。
7. 如權(quán)利要求5所述的一種工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的第二拉桿(7)可 以推動(dòng)工作平臺(tái)(6)作水平運(yùn)動(dòng)。
8. 如權(quán)利要求1所述的一種工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的滾輪組件(21)包 括，輪(22)，襯套(23)，右輪邊(24)，定位墊片(25)，底座(26)，軸承(27)，螺栓(2S)，左輪 邊(29);滾輪螺栓(28)依次穿過(guò)左輪邊(29)、輪(22)、軸承(27)和襯套(23)及右輪邊(24) 用開(kāi)槽沉頭螺釘(28)固定。內(nèi)六角圓柱頭螺釘穿過(guò)定位墊片(25)及底座(26)后再次穿 過(guò)螺栓(28)固定。
9. 如權(quán)利要求1所述的一種工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的氣缸組件(14)可以繞第一定位螺栓(13)作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
10. 如權(quán)利要求1所述，一種工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的氣缸組件(14)可以推動(dòng)第一拉桿(15)在繞固定座(16)旋轉(zhuǎn)。
11. 如權(quán)利要求10所述的一種工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于 所述的第一拉桿(15)推動(dòng)第二拉桿(7)繞固定螺栓(9)旋轉(zhuǎn)。
12. 如權(quán)利要求11所述的一種工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的第二拉桿(7)可以推動(dòng)工作平臺(tái)(6)作水平運(yùn)動(dòng)。滾輪組件(21)可以沿導(dǎo)軌 作水平運(yùn)動(dòng)。
專利摘要本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體制造業(yè)中的工作平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括基礎(chǔ)框架、若干個(gè)固定盤(pán)、氣浮、導(dǎo)軌、支架、工作平臺(tái)、若干個(gè)拉桿、支撐板、固定螺栓、支撐架組件、軸套、氣缸組件、固定盤(pán)和滾輪組件。該移動(dòng)機(jī)構(gòu)的氣缸組件可以繞定位螺栓作旋轉(zhuǎn)及伸縮運(yùn)動(dòng)，第一拉桿可以繞固定座旋轉(zhuǎn)，第一拉桿在氣缸組件推動(dòng)下可以繞固定座旋轉(zhuǎn)，第二拉桿可以繞固定螺栓旋轉(zhuǎn)，第二拉桿在第一拉桿推動(dòng)下可以繞固定螺栓旋轉(zhuǎn)，第二拉桿可以推動(dòng)工作平臺(tái)作水平運(yùn)動(dòng)。該工作平臺(tái)可以在有較大的行程，但要求安裝的距離遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于行程的距離的場(chǎng)合使用，同時(shí)可以實(shí)現(xiàn)在斷電和斷氣的情況下對(duì)工作平臺(tái)的維修需求。
文檔編號(hào)H01L21/677GK201466012SQ20092006749
公開(kāi)日2010年5月12日 申請(qǐng)日期2009年2月4日 優(yōu)先權(quán)日2009年2月4日
發(fā)明者吳榮基, 趙正龍 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司