技術(shù)編號：7185155
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及形成浮動?xùn)糯鎯卧陌雽?dǎo)體存儲器陣列的自對準(zhǔn)方法。本發(fā)明也涉及這種類型的浮動?xùn)糯鎯卧陌雽?dǎo)體存儲器陣列。背景技術(shù)使用浮動?xùn)刨A存電荷的非易失半導(dǎo)體存儲單元和在半導(dǎo)體襯底內(nèi)形成這樣的非易失存儲單元的存儲器陣列在本領(lǐng)域是熟知的。特別是，這種浮動?xùn)糯鎯卧蛘呤欠至褨判偷?，或者是堆棧柵型的。半?dǎo)體浮動?xùn)糯鎯卧嚵械闹圃旃に囁媾R的問題之一是不同部分如源，漏，控制柵和浮動?xùn)诺膶?zhǔn)。隨著半導(dǎo)體工藝的集成設(shè)計(jì)尺寸的減小，需要減小最小金屬平版印刷，對精確對準(zhǔn)...
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