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技術(shù)編號：7180315

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本發(fā)明涉及一種包括MONOS型非易失性存儲裝置的。背景技術(shù) 作為非易失性半導(dǎo)體存儲裝置的一種類型，有一種在溝道區(qū)域與控制柵之間的柵絕緣層由氧化硅層和氮化硅層的疊層體構(gòu)成、在所述氮化硅層上電荷被俘獲的被稱之為MONOS(Metal Oxide Nitride OxideSemiconductor)型或SONOS(Silicon Oxide nitride Oxide Silicon)型的半導(dǎo)體存儲裝置。作為MONOS型的非易失性半導(dǎo)體裝置已公開了一種如圖16...
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